私の株日記: 中国の半導体装置メーカー

半導体工場のプロセス・エンジニア（エッチング工程）として大学卒業後のキャリアをスタートして以来、転職を繰り返しながらもずっと半導体業界に身を置いてきました。しかし SBI 証券と楽天証券が国内株取引の約定手数料の無料化に踏みきったのを機に^[1]、60 歳前に東京エレクトロンを退職して投資の世界に飛び込んでしまいました。作ってみたかった自動売買システムの開発に取り組めるまたとないチャンスで、今始めなければ必ずや後悔すると思ったのでした。

そんなわけで日々トレーディング・システム作りに励みながらも、「昔取った杵柄」で、半導体業界の動向に今も注目しています。

半導体製造装置の内製化が進む中国

米国から半導体装置の対中輸出規制によって特にオランダ ASML 社の露光装置が取り沙汰されていますが、中国では既に国内で半導体装置を調達できる体制を整えつつあります。中国の半導体装置メーカーを調べられた範囲で列挙しました。

北方华创科技集团股份有限公司 NAURA Technology Group Co.,Ltd.(SZSE: 002371)

中国最大の半導体製造装置メーカーです。

Plasma etching equipment Etch
Physical vapor deposition equipment PVD
Chemical Vapor Deposition Equipment CVD
Crystal growth furnace equipment PVT （物理気相成長）
Oxidation diffusion plant Furnace
Wet Equipment WET
UV Curing Oven UV Cure
Transfer transfer device Indexer
Ancillary Equipment（付属機器、熱回収システム、有機溶剤回収システム、イオン粒子吸着装置、精密恒温恒湿機など）
Gas Measuring Control

中微半导体设备（上海）股份有限公司 Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc., AMEC (SSE: 688012)

AMEC は 2004年5月、Applied Materials や Lam Research に勤務していた Gerald Yin によって共同設立されました。

Etch
MOCVD （有機金属気相成長）
LPCVD
Environmental Control

上海万业企业股份有限公司 Shanghai Wanye Enterprises (SSE: 600641)

2009 年 4 月に設立された上海凯世通半导体股份有限公司は、イオン注入技術を中核とする半導体装置メーカーで、2018 年に上海万业企业股份有限公司の持ち株子会社になりました。

低能大束流离子注入机系列（低エネルギー大ビームイオン注入装置シリーズ）
高能离子注入机系列（高エネルギーイオン注入装置シリーズ）

上海微电子装备(集团)股份有限公司 Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd., SMEE（未公開企業）

2023 年 12 月、SMEE が 28nm プロセスクラスのArF 液浸露光機 SSA800-10W の初期開発を完了したと報じられています。

Lithography Equipment
IC Derivative Products

半導体業界のサプライチェーンは裾野が広いので、原材料の分野では日本企業の優位性はまだまだ揺るがないと言われています。しかし日本の半導体装置メーカーは、中国には輸出規制、米国には高関税で売れなくなりシェアを落としてしまう、というような展開を懸念しています。

また、日本製の半導体製造装置でなければできないことを探すのが難しくなってきています。東京エレクトロン (8035) のコータ・デベロッパ、レーザーテック (6920) の EUV マスク検査装置…、ASML 社の露光装置と共存する装置ぐらいしか思いつきません。

余談ですが、ラピダスが製造しようとしている 2nm GAA デバイスの 2nm はもはやトランジスタのゲート幅の物理寸法をあらわしていません。トランジスタ構造を立体化することで、トランジスタ密度が平面構造の 2nm ゲート長トランジスタ相当の集積度だということをあらわしています。津田氏によると、2nm プロセスの実際の最小寸法は 11nm 程度だということです^[9]。

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